THERMOVAC 变送器 真空计 TTR 91 N

TTR 91 N和TTR 96 N THERMOVAC系列真空变送器可提供从5×10-5到1000毫巴的较大测量范围,基于对MEMS Pirani硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。

TTR 91 N和TTR 96 N THERMOVAC变送器用途广泛,可用作独立装置,或用于Graphix控制器(P/N: 230680V01、230681V01、230682V01)和Display控制器(P/N: 230001、230024、230025)。所有THERMOVAC变送器均可向下兼容Graphix、Display和Center控制器。

每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外,每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。

变送器拥有多达三个机械继电器,这些继电器可用于过程控制,例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备,用于获取压力读数,或进行压力控制。

传感器技术

变送器具备单独的MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统))传感器元件,元件测量基于热传导性的测量。MEMS Pirani传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片,其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状,空腔内无法进行对流,因此,传感器对安装位置并不敏感。通过扩散,气体分子只到达热元件,在此处可测量气体的热损耗。传感器元件极为坚固耐用,可承受较高重力和瞬间空气涌入。

应用

变送器可用于众多不同领域的真空应用中,如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

·一般真空压力测量

·前级管道和粗抽压力测量

·气体回填测量和控制

·质谱仪控制

·启动超高真空电离(UHV)规

·系统过程控制

·检测异常压力,利用继电器设定点采取妥当的安全措施

·控制系统压力

P/N: 230045V02和230047V02含有Parylene-HT®涂层传感器。

Parylene-HT®是保形涂层,气体阻隔性,不释气。与标准MEMS Pirani相比,Parylene-HT®涂层传感器对各种腐蚀性气体的耐受性更强。涂层覆盖整个传感器芯片,包括接线。因此,暴露于处理气体的材料只有Parylene-HT®涂层。如需更多详情,请联系应用支持部门。

废弃处理

TTR 91 N和96 N变送器是根据RoHS (在电子电气设备中限制使用某些有害物质)指令制造的。

技术数据

测量原理:热传导性依据MEMS Pirani传感器而定

测量范围(N2和空气): 5×10-5至1000毫巴

精确度(1)(N2): 5×10-4至1x10-3毫巴:误差是读数的±10%

1×10-3至100毫巴:误差是读数的±5%

100至1000毫巴:误差是读数的±25%

重复性(1)(N2): 1×10-3至100毫巴:误差是读数的±2%

电源电压: 9–30伏直流

功耗: < 1.2瓦

熔丝(热可恢复): 200毫安

模拟输出(100欧阻抗): 0.61–10伏直流,Log.1.286伏直流/十进制

模拟输出分辨率: 16位

模拟输出更新率: 16赫兹

传感器故障,模拟输出: 0.5伏

材料暴露于真空(2):

P/N: 230035V02至230043V02: 304号不锈钢、密封材料FPM

P/N: 230045V02、230047V02: 304号不锈钢、密封材料FPM、Parylene-HT®

设定点继电器:

P/N: 230035V02至230038V02: 0

P/N: 230040V02至230047V02: 2

设定点继电器范围: 2×10-4至1000毫巴

设定点继电器触点额定值: 1安/ 30伏直流/交流(电阻性负载)

设定点继电器响应时间: < 100毫秒设定点继电器触点电阻: 100毫欧(值)设定点继电器触点耐久性: 100000循环(最小值) (30伏直流/1安负载)

设定点继电器触点耐久性: 2000000循环(最小值) (30伏直流/0.2安负载)

内部容积:

P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: KF16 2.80厘米3

P/N: 230036V02: CF 16 3.71厘米3

P/N: 230038V02、230043V02: NPT 1/8"3.04厘米3P/N: 230037V02、230047V02:CF 16 (可烘烤) 23.14厘米3

外壳材质: 304号不锈钢

重量:

P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: 168克

P/N: 230036V02: 195克

P/N: 230038V02、230043V02: 183克

P/N: 230037V02、230047V02: 250克

允许压力: 6巴

运行温度: 0至40°C (32至104°F)

烘烤温度(电源关闭)(3): 85°C (185°F)

250°C (482°F) (仅适用于P/N: 230037V02、230047V02)(3)

灯丝温度:超过室温35°C

异物防护等级: IP40

泄漏速率: < 5∙10-9毫巴∙升/秒

(1)精确度和重复性数值是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。

(2)如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表,请联系Leybold。

(3)只有CF 16法兰末端处允许采用烘烤温度。变送器温度不得超过85°C (185°F)。因此,不建议在烘烤期间热绝缘或直接加热变送器和法兰。

配件和备件编号

零件	产品号
TTR 91 N,DN16 KF	230035V02
TTR 91 N,DN16 CF	230036V02
TTR 91 N,DN16 CF,可烘烤	230037V02
TTR 91 N,1/8" NPT	230038V02
TTR 91 N,DN16 KF,2SP	230040V02
TTR 91 N,1/8" NPT,2SP	230043V02
TTR 96 N C,DN16 KF,2SP	230045V02
TTR 96 N C,DN16 CF,可烘烤,2SP	230047V02
Display 1	230001
Display 2	230024
Display 3	230025
Graphix 1	230680V01
Graphix 2	230681V01
Graphix 3	230682V01
A型电缆,5米	12426
A型电缆,10米	230012
A型电缆,15米	12427
A型电缆,20米	12428
A型电缆,30米	12429
A型电缆,50米	12431
A型电缆,75米	12432
A型电缆,100米	12433
螺旋管DN 16 ISO-KF	230082
定心环(1.4305号不锈钢),含O型环,DN16 KF	88346
定心环(不锈钢),含烧结金属过滤器,DN16 KF	88351
卡环(铝),DN16 KF	18341
定心环,含细滤器DN 16 ISO-KF	88396
CF螺栓,含双螺母M4+20	83887
CF铜垫片DN16 CF	ES83941

更多信息请联系莱宝：安博元科技info