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六氟化钨传感器

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  • 公司名称四方光电股份有限公司
  • 品       牌四方光电
  • 型       号
  • 所  在  地武汉市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2024/9/4 17:41:34
  • 访问次数181
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四方光电股份有限公司(以下简称"四方光电")是一家从事智能气体传感器和气体分析仪器的科创板上市企业(代码688665)。公司2003年成立于武汉"光谷",形成了包括光学(红外、紫外、光散射、激光拉曼)、超声波、MEMS金属氧化物半导体 (MOX)、电化学、陶瓷厚膜工艺高温固体电解质等原理的气体传感技术平台,拥有100余项国内外专俐,产品广泛应用于空气品质、环境监测、工业过程、安全监测、健康医疗、智慧计量等领域。

四方光电建设有省级企业技术中心和湖北省气体分析仪器仪表工程技术研究中心。同时公司积极融入国家技术创新体系,先后获得国家重大科学仪器设备开发专项、物联网发展专项、工信部强基工程传感器、科技部科技助力经济2020重点专项、湖北省技术创新重大项目等多个项目的支持,被国内外行业机构列为中国气体传感器主要厂商和代表性企业,并荣获中国物联网产业联盟"具有影响力物联网传感企业奖"。

深耕传感器领域21年,四方光电凭借长期的技术沉淀、严格的质量体系及国际化视野,已经成为诸多世界500强及国内外细分领域头部企业的配套供应商。目前公司产品已经出口至八十多个国家和地区,正在朝着传感器领域的国际品牌迈进。

粒子计数器,肺功能仪,粉尘浓度测试仪,呼气末二氧化碳模块,呼吸模拟器,肺功能仪定标桶,氧气传感器,扬尘检测仪,一氧化碳传感器
产地 国产 产品新旧 全新
检测原理 NDIR 检测气体 SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
六氟化钨传感器是由四方光电自主研发的高性能气体传感器,产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议,可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
六氟化钨传感器产品信息

六氟化钨传感器传感器是由四方光电自主研发的高性能气体传感器,产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议,适合半导体行业化学沉积设备、原子层沉积设备腔室的清洁终点监测。

六氟化钨传感器传感器产品特性

使用NDIR技术,多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)

响应时间快,高灵敏度

无耗材

模拟/数字通信

模块化设计,便于集成


六氟化钨传感器传感器技术参数

检测原理 NDIR
检测气体 SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
重复性 ±0.5%
线性 ±1%F.S.
检测限 1ppm




关键词: 传感器
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