薄膜介电常数测试仪

薄膜介电常数测试仪薄膜介电常数测试仪

1  测量范围及误差

本电桥的环境温度为20±5℃,相对湿度为30％－80％条件下,应满足下列表中的技术指示要求。

在Cn＝100pF    R4＝3183.2（W）（即10K/π）时

测量项目       测量范围             测量误差

电容量Cx       40pF--20000pF      ±0.5%  Cx±2pF

介质损耗tgd      0～1              ±1.5％tgdx±0.0001

在Cn＝100pF      R4＝318.3（W）（即1K/π）时

测量项目       测量范围             测量误差

电容量Cx       4pF--2000pF      ±0.5%  Cx±3pF

介质损耗tgd      0～0.1          ±1.5％tgdx±0.0001

2  电桥测量灵敏度

电桥在使用过程中,灵敏度直接影响电桥平衡的分辨程度,为保证测量准确度,希望电桥灵敏度达到一定的水平。通常情况下电桥灵敏度与测量电压,标准电容量成正比。在下面的计算公式中,用户可根据实际使用情况估算出电桥灵敏度水平,在这个水平上的电容与介质损耗因数的微小变化都能够反应出来。

DC/C或Dtgd=Ig/UwCn(1+Rg/R4+Cn/Cx)

式中：Ｕ为测量电压                     伏特（Ｖ）

ω为角频率 2pf=314(50Hz)

Ｃｎ标准电容器容量                    皮法（pＦ）

Ｉｇ通用指另仪的电流5X10-10            安培（Ａ）

Ｒｇ平衡指另仪内阻约1500              欧姆（W）

Ｒ４桥臂R4电阻值3183                 欧姆（W）

Ｃｘ被测试品电容值                    皮法（ｐF）

3 电容量及介损显示精度：

电容量： ±0.5%×tgδx±0.0001。

介  损： ±0.5％tgdx±1×10-4

4 辅桥的技术特性：

工作电压±12V,50Hz

输入阻抗>1012　W

输出阻抗>0.6 W

放大倍数>0.99

不失真跟踪电压  0～12V（有效值）

5 指另装置的技术特性：

工作电压±12V

在50Hz时电压灵敏度不低于1X10-6V／格, 电流灵敏度不低于2X10-9A／格

二次谐波  减不小于25db

三次谐波  减不小于50db

特点：优化的测试电路设计使残值更小◆ 高频信号采用数码调谐器和频率锁定技术◆ LED 数字读出品质因数,手动/自动量程切换◆ 自动扫描被测件谐振点,标频单键设置和锁定,大大提高测试速度

作为新一代的通用、多用途、多量程的阻抗测试仪器,测试频率上限达到目前国内高的160MHz。1 双扫描技术 - 测试频率和调谐电容的双扫描、自动调谐搜索功能。2 双测试要素输入 - 测试频率及调谐电容值皆可通过数字按键输入。3 双数码化调谐 - 数码化频率调谐,数码化电容调谐。4 自动化测量技术 -对测试件实施 Q 值、谐振点频率和电容的自动测量。5 全参数液晶显示 – 数字显示主调电容、电感、 Q 值、信号源频率、谐振指针。6 DDS 数字直接合成的信号源 -确保信源的高葆真,频率的高精确、幅度的高稳定。7 计算机自动修正技术和测试回路优化 —使测试回路 残余电感减至低, Q 读数值在不同频率时要加以修正的困惑。