加野0.1微米粒子计数器3950-00半导体行业
应用范围
作为传感器嵌入到设备装置中
洁净室的清洁度管理
高清洁度区域的管理
重视可视性,大画面,触摸屏显示器,可在附带软件上显示测试数据
双通道: 0.1μm0.3μm
额定流量:2.83umin
通过实现超小型化设计,使粒子计数器嵌入装置设备成为可
0.1 um测量
4.3英寸彩色液晶
标配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度轻量化
以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中,
本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
加野0.1微米粒子计数器3950-00半导体行业
品名 |
尘埃粒子计数器 |
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型号 |
3950-00 |
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粒子测量 |
测试方法 |
光散射法 |
粒径通道 |
2粒径(0.1、0.3μm) |
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额定流量 |
0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4) |
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测量时间 |
6秒~99分59秒(1次测量时间) |
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间隔时间 |
6秒~99分59秒(测量周期) |
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采样次数 |
1~999次 或 连续测试 |
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地点设定 |
99个地点 |
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测量方式 |
重复、单次、连续、计算 |
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测量数据显示时间 |
1~10秒 |
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测量数据显示 |
累计值∑ 差分值△及柱形图 |
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最大可测浓度 |
10,000,000个/m³ |
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计数效率 |
50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子) |
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伪计 数 |
<1个/35min |
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粒径分辨率 |
15%以下(相对0.3μm的PSL粒子) |
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气源 |
内置泵 |
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显示器 |
4.3英寸彩色液晶 触摸屏 |
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通迅功能 |
本体 |
USB(Host用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接) |
数据存储 |
媒体 |
内存 |
数量、格式 |
最大10,000个、CSV格式 |
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显示语言 |
英文、日语 |
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电源 |
AC100~240V |
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使用环境 |
本体 |
15~35℃、0~85%RH (无结露) |
外形尺寸 |
W150 X H163 X D228 mm |
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重量 |
3.4kg |
加野0.1微米粒子计数器3950-00半导体行业