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辉光等效等离子PECVD系统 BTF-1200C-PECVD

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称重庆开衡科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地重庆市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/7/23 12:09:16
  • 访问次数82
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重庆开衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有着高等学历、优良品质、丰富经验的专业人士组建的一家客户驱动型企业。 公司自成立以来,不断拓宽资源渠道,完善产品结构,积累专家智库,提高本地化服务水平。致力打造科学研究、分析检测相关实验室设备和消耗品"一站式"采购平台,帮助客户建设一个完备可靠的实验室。 一个渠道,无限解决方案。开衡科技提供所有实验室仪器和设备的支持和供应管理,不限生产厂家,凭借我们专业技术和服务能力,帮助客户用更少资源和更低成本提高生产力。 我们的产品包括:天平、箱类控温系统、离心机、加压电泳液相色谱、离子色谱、水质检测仪器、样品低温存储设备、细胞培养设备、样品离心及浓缩处理系统、微孔板分析仪器、实验室纯水、恒温产品、质量控制检测设备、自动化设备、移液器,以及实验室塑料制品和玻璃器皿、色谱柱、订制实验室家具等等。 开衡科技以丰富的选择,便捷的网络,迅速有效的售后服务,为重庆地区各大专院校、科研院所、工业单位,涉及制药、环监、食品、农业、医学、化工、石化、材料、电子等行业的科技工作者提供服务和支持。多年实干,公司在用户中已赢得广泛赞誉,并成为重庆地区科学仪器行业内受尊敬的供应商之一。
实验室仪器设备
双层风扇散热装置主要特点贝意克公司研制的PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象
辉光等效等离子PECVD系统 BTF-1200C-PECVD产品信息

双层风扇散热装置

主要特点

贝意克公司研制的PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。其优势有沉积温度低,沉积速率快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂等。

技术参数

产品型号:
BTF-1200C-PECVD
实验机理:
PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm 3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。
技术参数:
加热区参数
反应腔体尺寸:Φ50,Φ60,Φ80,Φ100
加热元件:电阻丝(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
加热区长度:440mm
恒温区长度:200mm(±1℃)
工作温度:1100℃
Z高温度:1200℃
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃
升温速率:20℃/min
炉门结构:开启式
工作电源:AC220V /50HZ
额定功率:3KW
空参数
采用KF25系列波纹管和手动挡板阀;
真空度可达10 -3torr;
数显真空测试仪可直观的显示数值。
流量控制参数
内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量;
气体流量范围可选,误差为±1.5%;
一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀;
不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入。
射频电源与匹配器
电源:单相50/60Hz 220v±10%
加热(功率)电源:2.5KW,25A
控制柜电源空气开关:32A空气开关
薄膜生长室温度:室温~ 1200℃
射频频率:13.56MHz
射频功率输出范围:5~500W
细节展示:

外型尺寸:
炉体:940×380×520mm
供气及真空系统:600×600×600mm
净重:
130Kg
认证和:
号: ZL.0(产品,防伪必究)


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