主要特点
BTF-1200C-IIIS-PECVD高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求,关键电气元件采用优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性。 本设备主要针对实验和中试石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,传感器等领域。
技术参数
Z高温度 |
1200℃ |
使用温度 |
≤1100℃ |
炉膛有效尺寸 |
Φ25/Ø50/Ø60/Ø80/Ø100*2000mm(各管径可选） |
炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 |
K型热电偶 |
控温精度 |
±1℃ |
控温方式 |
30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为10"工控电脑,内置PLC控制程序,可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制。 |
加热长度 |
200+200+200mm（600mm） |
恒温长度 |
400mm |
加热原件 |
电阻丝 |
供电电源 |
单相,220V,50Hz |
2、PE射频电源
信号频率 |
13.56 MHz±0.005% |
功率输出范围 |
0W~500W |
Z大反射功率 |
100W |
射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
功率稳定度 |
≤5W |
谐波分量 |
≤-50dbc |
供电电压 |
单相交流（187V-253V）频率50/60HZ |
整机效率 |
>=70% |
功率因素 |
>=90% |
冷却方式 |
强制风冷 |
3、三路质子流量控制系统
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2) |
50sccm,100sccm、500sccm（可根据用户要求定制） |
准确度 |
±1.5%F.S |
线性 |
±1%F.S |
重复精度 |
±0.2%F.S |
响应时间 |
气特性：1～4 Sec,电特性：10 Sec |
工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
Z大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
4、低真空机组
空气相对湿度 |
≤85% |
工作环境 |
5℃～40℃ |
工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽气速率 |
10m³/h |
极限真空 |
5X10-1Pa |
工作压力范围 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐压值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
进气口口径 |
KF25 |
排气口口径 |
KF25 |
噪音 |
50dB |
连接方式 |
采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连 |
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