原子力显微镜(FM-Nanoview 6600AFM)
一、功能特点
1、光机电一体化设计,外形结构简单; 2、扫描探头和样品台集成一体,抗干扰能力强; 3、精密激光检测及探针定位装置,光斑调节简单,操作方便; 4、采用样品趋近探针方式,使针尖垂直于样品扫描; 5、伺服马达手动或自动脉冲控制,驱动样品垂直接近探针,实现扫描区域精确定位; 6、高精度大范围的样品移动装置,可自由移动感兴趣的样品扫描区域; 7、高精度大范围的压电陶瓷扫描器,根据不同精度和扫描范围要求选择; 8、自由变倍的CCD观测系统,实时观测与定位探针扫描样品区域; 9、采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大; 10、模块化的电子控制系统设计,便于电路的持续改进与维护; 11、集成多种扫描工作模式控制电路,配合软件系统使用。 |
二、友好的软件界面及操作功能
1、多通道图像同步采集显示,实时查看剖面图;
2、多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS(f-RMS)、RMS-间隙(RMS-Z)测量功能;
3、可进行扫描区域偏移、剪切功能,任意选择感兴趣的样品区域;
4、可任意选择样品起始扫描角度;
5、激光光斑检测系统的实时调整功能;
6、针尖共振峰自动和手动搜索功能;
7、可任意定义扫描图像的色板功能;
8、支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能;
9、支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正;
三、技术规格
名 称 | 参 数 | 名 称 | 参 数 |
工作模式 | 轻敲模式、接触模式 | 扫描角度 | 任意 |
样品尺寸 | Φ≤80mm;H≤20mm | 样品移动范围 | 0~20mm |
*大扫描范围 | 横向50um,纵向5um | 马达趋近脉冲宽度 | 10±2m |
扫描分辨率 | 横向0.2nm,纵向0.05nm | CCD放大倍数 | 光学放大0.6~5X 电子放大40X |
扫描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 图像采样点 | 256×256,512×512 |
扫描控制 | XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A |
反馈方式 | DSP数字反馈 |
数据采样 | 14-bit A/D、双16-bit A/D 多路同步采样 |
反馈采样速率 | 64.0KHz |
仪器重量体积 | 40KG,700´480´450mm | 计算机接口 | USB2.0 |
运行环境 | 运行于WindowsXP/7/8操作系统 |