高载重同步辐射高精度位移平台

高载重同步辐射高精度位移平台

纳米位移台在提供精度位移控制的同时,保证了优异而的稳定性能,适用于室温、大气到超高真空环境中,负载可达几公斤,行程达到50mm,小步长50nm,配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm,提供多维度位移功能。

高载重同步辐射高精度位移平台

适用于超高真空环境中多维度纳米精度位移功能,负载可达几公斤,行程达到50mm,小步长50nm,配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm#适用于室温、大气到超高真空环境中,负载可达几公斤,行程达到50mm,小步长50nm,配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm,提供多维度位移功能；

+在厘米级的行程范围内,达到纳米级高精度位移控制

+的机械稳定性

+位移驱动电压<45V,无需高压屏蔽

+  10nm位移精度,+/-200nm位移重复性,<0.01%精度

+特殊材质,兼容各种光学实验环境和超高真空环境

+快速样品更换装置