无锡冠亚恒温制冷技术有限公司的半导体控温解决方案
主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,
⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。
半导体行业主营控温产品：
半导体专温控设备
射流式⾼低温冲击测试机
半导体专用温控设备chiller
Chiller气体降温控温系统
Chiller直冷型
循环风控温装置
半导体⾼低温测试设备
电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源
射流式高低温冲击测试机
快速温变控温卡盘
数据中心液冷解决方案
| 型号 | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
| FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
| 温度范围 | 5℃～40℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 流量控制 | 10～25L/min5bar max | 15～45L/min6bar max | 25～75L/min6bar max | ||||
| 制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
| 内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷剂 | R410A | ||||||
| 载冷剂 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等（DI温度需要控制10℃以上） | ||||||
| 进出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷却水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量at20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| 电源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
| 温度扩展 | 通过增加电加热器,扩展-25℃～80℃ | ||||||
半导体集成电路Chiller 元器件测试用设备
半导体集成电路Chiller 元器件测试用设备
在半导体制造过程中,冠亚制冷的冷却设备chiller的作用大家有目共睹。本文将介绍介质刻蚀双通道chiller调试过程中的注意事项。
一、准备工作
在进行介质刻蚀双通道chiller调试之前,先要确保所有准备工作已经完成。这包括：
1、确认介质刻蚀双通道chiller安装正确：检查设备的安装位置、管道连接等是否符合设计要求。
2、电源连接：确保电源连接稳定,并按照介质刻蚀双通道chiller规格书的要求设置电源参数。
3、阀门和仪表校准：检查所有的阀门和仪表是否已经校准,确保测量准确。
二、调试过程
1、启动顺序：按照介质刻蚀双通道chiller手册的启动顺序进行启动,确保每个步骤都正确无误。
2、参数设置：根据介质刻蚀双通道chiller规格书的要求,设置合适的参数,如冷却水流量、温度等。
3、运行测试：在介质刻蚀双通道chiller运行过程中,密切关注各项参数的变化,确保介质刻蚀双通道chiller正常运行。
4、故障排查：如果介质刻蚀双通道chiller出现故障,根据故障现象进行排查,找出故障原因并进行修复。
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