*视窗为双层设计,操作安全
*设备占地面积小
*喷淋装置喷淋均匀
*加热材料高纯无污染,in-line加热
*有限控制金属、材料及微粒子的交叉
*温度自动校准
*软硬件互锁装置保证操作人员人身安全
*支持SMIF自动传输
*实时记录生产数据,多种数据分析功能
*软件支持GEM/SECS接口,提供PAP MES等功能
*工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速
*优化配管设置,节约DIW消耗量
*药液浓度实时监控系统
*多工艺数据库,可供用户适用和储存
*槽体流场控制技术
*高效药液回收系统
*Maragoni Dryer 低破片率,高洁净度
*较洁净药液回收利用,节约药液使用
*易燃化学品安全稳定加热系统
*易燃化学品搭载消防系统及切断排风系统,符合消防安全
*自主知识产权的软件系统
*系统自动排程,多工位并发处理,高效率运行
*拥有多项软件著作权
*工艺预置,过程数据记录和生产管理
*PC上位机和PLC触摸屏的控制和人机交互界面
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