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URE-2000 系列紫外单面光刻机

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公司名称深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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厂商性质其他
更新时间2021/7/21 21:59:40
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公司介绍主营产品

深圳市蓝星宇电子科技有限公司,经过十多年的紫外光专业技术沉淀,可以根据客户特殊要求提供定制化服务,研发设计组装：紫外臭氧清洗机（UV清洗机）,准分子清洗机,等离子清洗机/去胶机等科研以及生产设备,拥有自主品牌及注册商标。同时我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化,为广大中国及海外客户提供的仪器设备和材料的整体解决方案。应用领域: 半导体/微纳,光电/光学, 生命科学/生物医疗等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等。半导体/微纳,光电/光学产品主要有：德国ParcanNano（Nano analytik）针尖光刻机,电子束光刻机, 激光直写光刻机,紫外光刻机,微纳3D打印机,德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积,英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机,微波离子沉积机MPCVD,芬兰Picosun原子层沉积机,电子显微镜, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪,美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯,美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管,德国Diener等离子清洗机等*技术产品。生命科学/生物医疗产品主要有：PCR仪,核酸质谱仪/核酸检测仪,电子显微镜,紫外设备,光谱/色谱/质谱/波谱仪,生物芯片,试剂,实验耗材等。并可依据客户需求,研发定制相关产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务,为高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等客户提供仪器设备和材料。

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电子显微镜

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URE-2000 系列紫外单面光刻机,此系列包含六种型号：URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/35A,URE-2000/25,URE-2000/17

URE-2000 系列紫外单面光刻机产品信息

URE-2000 系列紫外单面光刻机

此系列包含六种型号：URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/35A,URE-2000/25,URE-2000/17

URE-2000/600 紫外光刻机

1、设备主要技术指标：

(1)光束口径： 650mm×650mm

(2)有效曝光面积：600mm×600mm

(3)分辨力：≤3μm

(4)对准精度：± 1.5μm

(5)对准显微镜中心距：75mm-600mm 可调

(6)掩模尺寸：650mm×650mm

(7)样片尺寸：可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm

×600mm,厚度为 0.2mm～20mm 的多种规格样片；

(8)光源不均匀性：≥ 95%（Ф600mm）

(9)掩模相对于样片运动行程：X:± 15mm!Y:± 15mm!Z：15mmΦ :± 10º

(10)曝光面光强：>15mW/cm2（i、g、h 线）

(11)汞灯功率：2500W（直流）

(12)曝光量设定方式：定时（倒计时方式 0.1s-9999.9s,设定精度 0.1s）

2．技术主要组成部分

大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由：高均匀照明曝光系统、对准工件台系

统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配置如下:

（1）高均匀照明系统包括：

。冷光椭球镜；

。2500W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。 XYZ 汞灯调节台；

。光学系统：椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 ,2、蝇眼透

镜组、抛物面冷光反射镜；

。冷却风扇；

。循环水冷系统。

（2）对准工件台系统包括：

 掩模样片相对运动台；

 转动台；

 样片调平机构,自动完成；

 样片调焦机构,自动调整；

 承片台 10 个：Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm

×600mm；

 掩模夹 1 个：650mm×650mm；

 抽拉式上下片机构。

（3）CCD 对准系统包括：

 光源、电源；

 显微镜工作台；

 成像光学系统（两套）；

 数据采集卡；

 CCD 图像处理部件（两套）。

（4）电控系统包括：

 大功率汞灯触发电源；

 单片机控制系统；

 薄膜开关面板；

 控制柜桌；

（5）气动系统包括：

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；

 电磁阀驱动部件；

 气动显示仪表。

（6）其他配套附件

 真空泵一台（无油泵、SK-65C 型）；

 空压机一台（*型、YB-W30 型）；

 水冷机一台（H35W 型）；

 配套接口管道

二、URE-2000/A12 紫外光刻机

1、设备主要技术指标：

(1) 曝光面积： 300mm×300mm；

（2）分辨力：± 2μm ；

（3）对准精度：± 2μm ；

（4）掩模尺寸： 7 英寸、9 英寸、13 英寸；

（5）样片尺寸： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；

（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；

（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；

（8）掩模相对于样片运动行程：X:± 5mm!Y:± 5mm;Ф :± 6°；

（9）汞灯功率：1000W（直流）；

（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm 2 ；

（11）曝光峰值波长:365nm；

（12）光源平行度：＜2°；

（13）曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s—9999.9s）；

（14）光刻版夹具兼容性

2．技术主要组成部分

（1）曝光头系统包括:

 冷光椭球镜；

 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；

 XYZ 汞灯调节台；

 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；

 冷却风扇。

（2）对准工件台系统包括:

 掩模样片相对运动台；

（XY）,转动台；

 样片调平机构；

 样片调焦机构；

 承片台 3 个： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；

 掩模夹 3 个： 7 英寸、9 英寸、13 英寸。

（3）CCD 对准显微镜系统包括:

4 倍显微镜 2 只；

照明光源 2 套；

 CCD 相机 2 只；

22 英寸液晶显示器。

（5）电控系统：

 汞灯触发电源(1000W)；

 单片机控制系统；

 控制柜桌。

（6）气动系统系统包括:

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等

（7）其他配置与附件

真空泵一台；

空压机一台；

 配套气管 10m；

三、URE-2000/A8 紫外光刻机

1、设备主要技术指标：

(1) 曝光面积： 200mm×200mm；

（2）分辨力：± 2μm ；

（3）对准精度：± 2μm ；

（4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；

（5）样片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；

（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；

（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；

（8）掩模相对于样片运动行程：X:± 5mm!Y:± 5mm;Φ :± 6°；

（9）汞灯功率：1000W（直流）；

（10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；

（11）曝光峰值波长:365nm；

（12）曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s—999.9s）；

（13）调平接触压力通过传感器保证重复

（14）数字设定对准间隙和曝光间隙

（15）具备压印模块接口,也具备接近模块接口

2．技术主要组成部分

（1）曝光头系统包括:

 冷光椭球镜；

 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；

 XYZ 汞灯调节台；

 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；

 冷却风扇。

（2）对准工件台系统包括:

 掩模样片相对运动台；

（XY）,转动台；

 样片调平机构；

 样片调焦机构；

 承片台 3 个： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；

 掩模夹 3 个：5 英寸、7 英寸、9 英寸。

（3）CCD 对准显微镜系统包括:

4 倍显微镜 2 只；

照明光源 2 套；

 CCD 相机 2 只；

22 英寸液晶显示器。

（5）电控系统：

 汞灯触发电源(1000W)；

 单片机控制系统；

 控制柜桌。

（6）气动系统系统包括:

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等

（7）其他配置与附件

真空泵一台；

空压机一台；

 配套气管 10m；

四、URE-2000A 型光刻机

1．技术参数

 曝光面积：150mmX150mm

 曝光波长：365nm

分辨力：0.8-1μm （胶厚 2μm 的正胶）

对准精度：± 0.6μm

 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

 掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

样片尺寸：直径± 15mm--± 150mm（各种不规则片）

厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)

 曝光方式：定时（倒计时方式）,0.1s-9999s

 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

照明不均匀性： 2.5%（± 100mm 范围）,5%（± 150mm 范围）

 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,

光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

 调平接触压力通过传感器保证重复

 数字设定对准间隙和曝光间隙

 具备压印模块接口,也具备接近模块接口

 掩模相对于样片运动行程：

X:± 5mm!Y:± 5mm;Φ :± 6 度

胶厚：500μm (SU8 胶)

 光源平行性：1.2°

 曝光能量密度：>18mW/cm2

 冷却方式：循环水+风冷

 曝光面温度：<30°C

 汞灯功率：1000W（直流,进口

2．外形尺寸： 1400mm（长）1200mm(宽) 1950mm（高）

3．配置

（1）曝光头

 冷光椭球镜

 1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)

 XYZ 汞灯调节台

 冷却风扇

 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜

1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2

 循环水冷系统

（2）对准工件台

 掩模样片整体运动台

 掩模样片相对运动台

 转动台

 样片调平机构,自动完成

 样片调焦机构,自动调

 承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

 掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

 基片抽拉式上下片机构

（3）对准显微镜

 光源（配备品 2 只）、电源

 双目双视场对准显微镜主体

 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个）

 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个）

（4）CCD 对准系统(选配)

 光源（配备品 3 只）、电源

 成像光学系统（两套）

 数据采集卡

 三维工件台（两套）

 CCD（2 只）

（5）电控系统

 汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

 单片机控制系统

 控制柜桌

 计算机系统及液晶显示器

（6）气动系统

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

 电磁阀驱动

 气动仪表

（7）其他附件

 真空泵一台（无油泵）

 空压机一台（*泵）

五、URE-2000B 型光刻机

1．技术参数

 曝光面积：100mmX100mm

 曝光波长：365nm

分辨力：0.8μm （胶厚 2μm 的正胶）

对准精度：± 0.6μm

 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

样片尺寸：直径± 15mm--± 100mm（各种不规则片）

厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)

 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

照明不均匀性： 2.5%（± 100mm 范围）

 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,

光学+电子放大 800 倍

物镜 3 对：4 倍、10 倍、20 倍；目镜 3 对：10 倍、16 倍、20 倍

 调平接触压力通过传感器保证重复

 数字设定对准间隙和曝光间隙

 具备压印模块接口,也具备接近模块接口

掩模相对于样片运动行程： X:± 5mm!Y:± 5mm;Ф :± 6 度

焦厚：600μm （SU8 胶,用户提供检测条件）

 光源平行度：1.2º

 曝光能量密度：>20mW/cm

 汞灯功率：1000W（直流,进口）

2．外形尺寸： 1400mm（长）1200mm(宽) 1950mm（高）

3．配置

（1）曝光头

 冷光椭球镜

 XYZ 汞灯调节台

 冷却风扇

 1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场

镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

 掩模样片整体运动台

 掩模样片相对运动台

 转动台

 样片调平机构,自动完成

 样片自动调焦机构

 承片台 4 个（15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）

 掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

 基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜及 CCD 对准系统

 光源、电源

 双目双视场对准显微镜主体

 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个）

 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个）

 CCD

 21 英寸液晶显示器

（4）电控系统

 汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

 单片机控制系统

 控制柜桌

（5）气动系统

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

 电磁阀驱动

 气动仪

（6）其他附件

 真空泵一台（无油泵）

 空压机一台（*泵）

 管道

（7）技术资料

 使用维修说明书。

 显微镜使用说明书

六、URE-2000/35 型光刻机

1．技术特征 ——非常适合工厂（效率高,操作傻瓜型,自动化程度高）和高校教学科研（可靠性好,演示方便）

采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除

曝光间隙,采用 350W 进口（德国）直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程

度很高,操作十分方便。

2．技术参数

 曝光面积：4 英寸

 曝光波长：365nm

 分辨力：0.8m

 对准精度：0.8m

 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

 样片尺寸：直径 10mm-- 100mm(各种不规则片), 厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)

 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

 照明不均匀性： 3%（100mm 范围）

 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,

光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

 调平接触压力通过传感器保证重复

 数字设定对准间隙和曝光间隙

 具备压印模块接口,也具备接近模块接口

 掩模相对于样片运动行程：

X:± 5mm!Y:± 5mm;Ф :± 6º

焦厚：400μm （SU8 胶,用户提供检测条件）

 光源平行性：3.5 º

 曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º

 单层曝光一键完成

 采用球气浮自动找平

 汞灯功率：350W（直流,进口汞灯）

3．外形尺寸： 1200mm（长）± 900mm(宽)± 1750mm（高）

4．配置

（1）曝光头

 冷光椭球镜

 350W 进口直流高压汞灯(进口)

 XYZ 汞灯调节台

 冷却风扇

 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜

1、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

 掩模样片整体运动台

 掩模样片相对运动台

 转动台

 样片调平机构,自动完成

 基片抽拉式上下机构

 样片调焦机构,电机自动调

承片台 4 个：± 15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸（可按用户要求增减）

 掩模夹 4 个：3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用户要求增减）

（3）对准显微镜

 光源（配备品 2 只）、电源

 双目双视场对准显微镜主体

 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个）

 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个）

 CCD 对准系统,21 寸液晶显示器

（4）电控系统

 汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

 单片机控制系统

 控制柜桌

（5）气动系统

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

 电磁阀驱动

 气动仪表

（6）其他附件

 真空泵一台

 空压机一台

 管道

七、URE-2000/35A 型光刻机

1．技术特征 ——非常适合工厂（效率高,操作傻瓜型,全自动）和高校教学科研（可靠性好,演示方便）

采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除

曝光间隙,采用 350W 进口（德国）直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程

度很高,操作十分方便。

2．技术参数

 曝光面积：6 英寸

 曝光波长：365nm

分辨力：1-1.2μm （胶厚 2μm 的正胶）

对准精度：± 0.8μm

 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

 掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

样片尺寸：直径± 15mm--± 150mm（各种不规则片）,厚度 0.1mm--6mm

 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

照明不均匀性： 6%（± 150mm 范围）

 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,

光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

 调平接触压力通过传感器保证重复

 数字设定对准间隙和曝光间隙

 具备压印模块接口,也具备接近模块接口

 掩模相对于样片运动行程：

X:± 5mm!Y:± 5mm;Ф :± 6º

焦厚：350μm （SU8 胶,用户提供检测条件）

 光源平行性：3.5 º

 曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面温度<35 º

 单层曝光一键完成

 采用球气浮自动找平

 汞灯功率：350W（直流,进口）

3．外形尺寸： 1200mm（长）900mm(宽) 1750mm（高）

4．配置

（1）曝光头

 冷光椭球镜

 350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

 XYZ 汞灯调节台

 冷却风扇

 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜、

冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

 掩模样片整体运动台

 掩模样片相对运动台

 转动台

 样片调平机构,三点自动完成

 样片调焦机构,电机自动调

 基片抽拉式上下机构

 承片台 4 个：15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸（可按用户要求增减）

 掩模夹 4 个：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（可按用户要求增减）

（3）对准显微镜

 光源（配备品 2 只）、电源

 双目双视场对准显微镜主体

 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个）

 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个）

 CCD 对准系统,21 寸液晶显示器

（4）电控系统

 汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

 单片机控制系统

 控制柜桌

（5）气动系统

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

 电磁阀驱动

 气动仪表

（6）其他附件

 真空泵一台

 空压机一台

 管道

八、URE-2000/35L 型光刻机

一、主要技术参数：

（1）曝光面积：100mm×100mm；

（2）照明不均匀性：± 3%（± 100mm 范围）；

（3）分辨力：1.0μm （胶厚 2.0μm 的正胶,365nm 波长）

（4）对准精度：≤±0.8μm；

（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸；

（6）样片尺寸：直径± 15mm--± 100mm、厚度 0.1mm--6mm；

（7）掩模相对于样片运动行程：X:± 5mm!Y:± 5mm;Ф :± 6°；

（8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

（9）曝光光源：紫外 LED（进口）；

（10）曝光波长：365nm；

（11）曝光强度：≥20mW/cm2；

（12）曝光定时：倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).

（13）调平接触压力通过传感器保证重复

（14）数字设定对准间隙和曝光间隙

（15）具备压印模块接口,也具备接近模块接口

二、技术构成与配置

设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、

气动系统等部分构成。

（1）曝光头系统包括:

◆ 进口紫外 LED 光源模块；

◆ LED 光源整形模块；

◆ XYZ 光源位置调节台；

◆ 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 个

透镜）、场镜组、反射镜组）；

◆ 冷却风扇。

（2）对准工件台系统包括：

◆ 掩模样片相对运动台（XY）；

◆ 转动台；

◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式；

◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙；

◆ 承片台 4 个（15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸各 1 个）；

◆ 掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸各 1 个）。

（3）CCD 对准显微镜系统包括：

◆ 对准光源 LED 灯；

◆ 双目双视场对准显微镜主体；

◆ 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个）；

◆ 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个）；

◆ CCD 部件；

◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。

（4）电控系统包括：

◆ 单片机控制系统；

◆ 紫外 LED 电源模块；

◆ 控制柜桌。

（5）气动系统包括：

◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等。

(6)．辅助设备配置:

◆ 真空泵 1 台（干泵）；

◆ *空气压缩机 1 台；

◆ 配套接管 10m；

(7)．备品备件

◆ 对准光源灯 4 只（LED-1W,不包括机器自带的两只）；

九、URE-2000/35AL 型光刻机

一、主要技术参数：

（1）曝光面积：150mm×150mm；

（2）照明不均匀性： ± 4%（ ± 150mm 范围）；

（3）分辨力：1.0 μm （365nm 波长）

（4）对准精度：≤±0.8μm；

（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；

（6）样片尺寸：直径 ± 15mm-- ± 150mm、厚度 0.1mm--6mm；

（7）掩模相对于样片运动行程：X: ± 5mm!Y: ± 5mm;Ф : ± 6°；

（8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

（9）曝光光源：紫外 LED（进口）；

（10）曝光波长：365nm；

（11）曝光强度：≥15mW/cm2 ；

（12）曝光定时：倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).

（13）调平接触压力通过传感器保证重复

（14）数字设定对准间隙和曝光间隙

（15）具备压印模块接口,也具备接近模块接口

二、技术构成与配置

设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、

气动系统等部分构成。

（1）曝光头系统包括:

◆ 进口紫外 LED 光源模块；

◆ LED 光源整形模块；

◆ XYZ 光源位置调节台；

◆ 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 个透镜）、场镜组、反射镜组）；

◆ 冷却风扇。

（2）对准工件台系统包括：

◆ 掩模样片相对运动台（XY）；

◆ 转动台；

◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式；

◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙；

◆ 承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个）；

◆ 掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个）。

（3）CCD 对准显微镜系统包括：

◆ 对准光源 LED 灯；

◆ 双目双视场对准显微镜主体；

◆ 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个）；

◆ 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个）；

◆ CCD 部件；

◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。

（4）电控系统包括：

◆ 单片机控制系统；

◆ 紫外 LED 电源模块；

◆ 控制柜桌。

（5）气动系统包括：

◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等。

(6)．辅助设备配置:

◆ 真空泵 1 台（干泵）；

◆ *空气压缩机 1 台；

◆ 配套接管 10m；

(7)．备品备件

◆ 对准光源灯 4 只（LED-1W,不包括机器自带的两只）；

十、URE-2000/30 型光刻机

1．技术特征

 高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供 USB 输出；既满足高精度对准,又

可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储

 采用倒置式照明,更换汞灯更方便,散热和防漏光效果更好

 对准位和曝光位双工位工作,双工位自动切换

 采用嵌入式计算机+触摸屏操作,操作更方便,更时尚

 上下片、版十分方便,自动化程度高,操作简便。对高校教学科研（可靠性好,演示方便）及工厂(效率高)尤为适宜

2．技术参数

 曝光面积：100mm×100mm（可升级为 6 英寸）

 曝光波长：365nm

分辨力：≤1μm （胶厚 1.5μm 的正胶）

对准精度：± 0.6μm

 显微镜扫描台运动范围：X：10mm;Y:10mm

 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

样片尺寸：直径± 15mm--± 100mm（各种不规则片）,厚度 0.1mm--6mm

 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能30

照明不均匀性： 3%（± 100mm 范围）

 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,

光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

 曝光对准双工位自动切换

 调平接触压力通过传感器保证重复

 数字设定对准间隙和间隙

 具备压印模块接口,也具备接近模块接口

 掩模相对于样片运动行程：

X:± 5mm!Y:± 5mm;Ф :± 6º

焦厚：400μm （SU8 胶,用户提供检测条件）

 光源平行性：3 º

 曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面温度<35 ºC

 单层曝光一键完成

 采用球气浮+三爪找平

 汞灯功率：350W（直流,进口）

3．外形尺寸： 1400mm（长）± 900mm(宽)± 1500mm（高）

4．配置

（1）曝光头

 冷光椭球镜

 350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

 XYZ 汞灯调节台

 冷却风扇

 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜、

冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

 光刻机底座

 工位切换台（气缸）

 掩模样片整体运动台

 掩模样片相对运动台

 转动台

 样片调平机构,三点自动完成

 样片调焦机构,电机自动调

 基片抽拉式上下机构

 承片台 4 个：15mm 、40mm、60mm、100mm（可按用户要求增减）

 掩模夹 4 个：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用户要求增减）

 样片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

 光源、电源

 双目双视场对准显微镜主体

 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个）

 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个）

 CCD 对准系统,22 寸液晶显示器

（4）电控系统

 汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

 单片机控制系统

 控制面板

 控制柜桌

（5）气动系统

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

 电磁阀驱动

 气动仪表

（6）其他附件

 真空泵一台

 空压机一台

 配套接口管道

十一、URE-2000/25 型光刻机

1．技术参数

 曝光面积：4 英寸

 曝光波长：365nm

分辨力：1μm （胶厚 2μm 的正胶）

对准精度：± 0.8μm

 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

样片尺寸：直径± 15mm--± 100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm

 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 3%（± 100mm 范围）

 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,

光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

 掩模相对于样片运动行程：

X:± 5mm!Y:± 5mm;Ф :± 6º

焦厚：350μm （SU8 胶,用户提供检测条件）

 光源平行性：3.5 º

 曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º

 汞灯功率：350W（直流,进口）

2．外形尺寸： 1200mm（长）900mm(宽) 1750mm（高）

3．配置

（1）曝光头

 冷光椭球镜

 350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

 XYZ 汞灯调节台

 冷却风扇

 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜

1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

 掩模样片整体运动台

 掩模样片相对运动台

 转动台

 样片调平机构, 手动

 样片调焦机构,手动

 承片台 3 个（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）

 掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

 基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

 光源（配备品 2 只）、电源

 双目双视场对准显微镜主体

 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个）

 CCD 及 21 英寸液晶显示器

 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个）

（4）电控系统

 汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

 单片机控制系统

 控制箱

（5）气动系统

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

 电磁阀驱动

 气动仪表

（6）其他附件

 真空泵一台

 空压机一台

 管道

十二、URE-2000/17 型光刻机（台式）

1．技术参数

 曝光面积：4 英寸

 曝光波长：365nm

分辨力：1.5μm （胶厚 2μm 的正胶）

对准精度：± 1μm

 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

样片尺寸：直径± 15mm--± 100mm,厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)

 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 5%（± 100mm 范围）

 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,

光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

 掩模相对于样片运动行程：

X:± 5mm!Y:± 5mm;Ф :± 6 度

 汞灯功率：200W（直流）

 曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸： 650mm（长）± 600mm(宽)± 900mm（高）36

3．配置

（1）曝光头

 200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

 XYZ 汞灯调节台

 光学系统

 冷却风扇

（2）对准工件台

 掩模样片整体运动台

 掩模样片相对运动台

 转动台

 样片调平机构,手动

 样片调焦机构,手动

 承片台 3 个（50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm ）

 掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

 掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

 光源（配备品 2 只）、电源

 双目双视场对准显微镜主体

 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个）

 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个）

 CCD（中国台湾）

 21 寸液晶显示器

（4）电控系统

 汞灯触发电源(200W 直流汞灯)

 单片机控制系统

 控制机箱

（5）气动系统

 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

 电磁阀驱动

 气动仪表

（6）其他附件

 真空泵一台

 管道

关键词：显微镜电磁阀减压阀真空泵空压机

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