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¼ì²âÔÀí | NDIR |
¼ì²âÆøÌå | SiF4¡¢WF6¡¢CF4¡¢SF6¡¢NF3¡¢CO2 |
Á¿³Ì | 1~264ppm(0~200mTorr) |
Öظ´ÐÔ | ±0.5% |
ÏßÐÔ | ±1%F.S. |
¼ì²âÏÞ | 1ppm |